Турбомолекулярные насосы

29.09.2019 г.

При этом дисковые пластины имеют поперечные лопасти, посредством которых во время вращения вала молекулы газа получают внушительное ускорение. В результате происходит постепенное увеличение давления к выходу. Наличие нескольких ступенек позволяет понемногу усугублять давление, которое ближе к выходу из насоса сильно возрастает.

В зависимости от степени наклона пластин на крутящихся дисках, меняется скорость откачки газов и максимальное разрежение. Пластины, установленные на дисках в турбомолекулярном насосе, сильно отличаются по собственной конструкции, потому как им необходимо работать в разных условиях. Подобным образом одни пластины регулярно работают с более невысоким давлением, а иные с очень высоким.

Турбомолекулярные насосы работают на большой скорости, обороты вала могут достигать 90 000 оборотов в минуту. Во избежание появления вибрации при подобных оборотах, используются специализированные керамические шариковые подшипники. В очень сложных и дорогих конструкциях насосов используются специализированные магнитные подвески. В них все степени свободы вала контролируются с помощью управляющей электроники и датчиков. Магнитные подвески, в отличии от подшипников, не подвержены действию сил трения, что повышает КПД насоса и исключает их механический износ во время эксплуатации.

Большинство производителей выпускают вакуумные насосы KYKY, в которых один конец вала крутится в подшипнике, а другой в магнитной подвеске. Это дает возможность намного увеличить служебный срок подшипника, потому как автоматическая регулировка магнитного подшипника даст возможность не допустить появление дисбаланса.

Исполнять обслуживание турбомолекулярных насосов должен именно обученый штат сотрудников, потому как при выполнении любых работ потребуется проверка на возникновение дисбаланса и его удаление. Неквалифицированный штат сотрудников может стать основой поломки насоса.